本申请涉及发光二极管生产、化合物半导体生产的洁净生产厂房技术领域，公开了一种洁净生产厂房布置结构，包括：屋架及静压箱；洁净生产层；洁净下技术夹层；洁净生产层与洁净下技术夹层之间采取结构开孔以连通洁净生产层和洁净下技术夹层；洁净生产厂房一侧或两侧设置回风夹道，回风夹道的一端与洁净下技术夹层连通，另一端与位于洁净生产层上方的静压箱连通，用于将洁净空气压送至洁净生产层，通过回风夹道回收和循环洁净下技术夹层内的空气。本申请公开的洁净生产厂房布置结构，增加了工艺设备布置的灵活性，采用了垂直层流的送风方式，提高了动力管线连接和检修的便利性、安全性。
